�x�͔���SMC�����_�P �@ʾһ�w��

���܅���:

�~����������(��������)100.2��10(5)L/min

�����{���y-�o

�ӹܿڏ�C6Φ6��Q���^

����ʽ�����_�P�İ��bλ��һ�㰲�b��ˮ�ó�ˮ�ڵ��O���ˮ�ڵ��@�ι�·�У���ò�Ҫ���b��ˮ�õ�����ڵĹ�·�ϣ��@������ʹˮ�ßo��������ˮ��ˮ���_�PҲ�o�����_�������@�c��Ҫ�؄eע�⡣����ʽ�����_�P���Sˮƽ�������������ϣ��ʹ�ֱ���b��

�����������L����

ݔ��Ҏ��FPNP(1ݔ��)+ģ�Mݔ��(4-20mA)

��λҎ��MSI��λ�̶�

����ԭ���IJ�ͬ�֞�Cе��ʽ�͸Б���ʽ���Լ��ʽ���Cе��ʽ�������_�P�������o�ܵ����������ķ�ʽ���@�Ä��������Ƅӣ�Ӱ푣����P���_�PԪ�����M�����F�z�y�^�̡��Б���ʽ�������_�P��ָ��ʽ�����_�P����ʽ�����_�P�����ß���ز��ԭ���z�y�ܵ����ٵ�

�ɱ�������ĤƬ�ϵ��԰׽�Ĥ�ӟ���(Rh)�����Č��Q���õ������Ȃ�����(Ru)�������Ȃ�����(Rd)�Լ�������w�y���õĭh���ضȂ�����(Ra)�������˱�MEMS������оƬ��ԭ�����҈D��ʾ����(a)���w�oֹ��B����Rh�����ı��ӟ���w�Ĝضȷֲ�������B��Ru��Rd��ʾ��ͬ�����ֵ������.(b)���w���҂����ӵĈ��ϣ����ӟ���w�Ĝضȷֲ�ƽ�ⱻ�Ɖģ��cRu���Rd�����ֵ׃��

����Ru��Rd���ֵ�IJ��c���Ӛ��w���ٳɱ�����ͨ�^�y�������ֵ���M������̎�������Եó����w�����ӷ�������١�

Ra������w�ĜضȻ�h���ضȵ��a��ʹ�á�

�x�͔���SMC�����_�P �@ʾһ�w��