���b�cʹ��SMC���/�˜���

�������c:

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

�����U����nj��c�����Uƽ�еăɸ����U�c��׽M��һ�w���Y���o�������򾫶ȸߣ��ܳ����^��ęM��ؓ�d�����ء�������ݔ�;��Ϲ������Ƴ�����������λ�ȡ����⣬߀�Ќ��_ʽ��ף�����ݔ�;��ϸ߾��������Ͷ�λ�ȡ�

�U�˃��ݼy�˜ʻ�

������_�P�ɲ�������ߣ������{��λ��

���w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��͵�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ� 

�����U�ǚ��������Ҫ�����������ͨ��ʹ�ø�̼䓣����潛�Ӳ�t̎������ʹ�ò��P䓣��Է����g��������ܷ�Ȧ����ĥ�ԡ�

���O�Іζ��h�͡����S���Ô[�ӵ���

���O���˗U�˰��b�����[�ӵ������b������̖

�����ǚ���е��܉�����������ֹ�������҃�ǻ�໥�Z�⣬�O�л����ܷ�Ȧ�������ϵ���ĥ�h����ߚ�׵Č����ԣ��p�ٻ����ܷ�Ȧ��ĥ�ģ��p��Ħ����������ĥ�h�Lʹ�þ۰��������ķ���ϩ���A���ϳɘ�֬�Ȳ��ϡ������Č������ܷ�Ȧ�ߴ�ͱ�Ҫ�Ļ��Ӳ����L�ȁ�Q�������Ӳ���̫�̣�����������ĥ�p�Ϳ����������IJ��|�����X�Ͻ���T�F��С�͸׵Ļ������S�~�Ƴɵġ�

���b�cʹ��SMC���/�˜���