�‡�FESTO����y,�M(f��i)˹���O(sh��)Ӌ(j��)�D

�(q��)�ӷ�ʽ
- ���(q��)�ӣ��������� 0.5 mbar �� 2.5 bar ������ VE��LSK �Ŵ��(q��)����
- ͨ�^ LCR-M 20x1-1/8 ֱ�Ӛ��(q��)�ӣ�G 1/8 ��(d��o)�ڣ�
- �����(q��)�ӣ���������0.7 �� 10 bar ������ UV ���{(di��o)�p���y
- ����(q��)�ӣ�- 0.2 �� - 0.95 bar��Չ���������VUV ��հl(f��)����
- �� MKC, MKF늴��(q��)�����(q��)��
�΂�(g��)�y�м��Ƀɂ�(g��)��ͬ���(q��)��������

������������y����߀���܌�(sh��)�F(xi��n)һ��߉݋���ܵ�߉݋Ԫ��������Ԫ����(n��i)���o�ɄӲ���������Ԫ�����пɄӲ����Ě��߉݋Ԫ�����ڽY(ji��)��(g��u)ԭ���ϣ�߉݋Ԫ�������Ϻͷ�������y��ͬ���H�H���w�e��ͨ���^С��һ���Á팍(sh��)�F(xi��n)��̖��߉݋�\(y��n)�㹦�����S�����Ԫ����С�ͻ��Լ�PLC�����ښ��ϵ�y(t��ng)�еĴ�����(y��ng)�ã����߉݋Ԫ���đ�(y��ng)�÷���������u�pС���Ŀ��Ʒ�ʽ���֣���ӿ��ƿɷ֞���m(x��)���ƺ��B�m(x��)���ƃ�����ڔ��m(x��)����ϵ�y(t��ng)�У�ͨ��Ҫ�É��������y�����������y�ͷ�������y�팍(sh��)�F(xi��n)�������;�B�m(x��)����ϵ�y(t��ng)�У�����Ҫ�É��������������y����߀Ҫ�����ŷ������������y�ȣ��Ա㌦ϵ�y(t��ng)�M(j��n)���B�m(x��)���ơ�

��ӿ����y��ָ�ښ��ϵ�y(t��ng)�п��ƚ����ĉ��������������ӷ����������C��ӈ�(zh��)��Ԫ����C(j��)��(g��u)���������ĸ���Ԫ�������ƺ��{(di��o)��(ji��)���s�՚≺����Ԫ���Q�鉺�������y�����ƺ��{(di��o)��(ji��)���s�՚�������Ԫ���Q�����������y����׃�Ϳ��ƚ������ӷ����Ԫ���Q�鷽������y��

���b��ʽ:
��ʽ�y���b�ڵ�����
- �΂�(g��)���� CAS, ����ڂ�(c��)��
- �΂�(g��)����CAU, ����ڵײ�
- ���� CAB���ښ�·�尲�b
- �˰�M�� CEPB ���ښ�·�尲�b ��2��(g��)�˰�͸�����
- CSC �� NSC���xƬ�������γɉ����^(q��)
- ���g�� CZB �����ښ�·�尲�b2�N�ߴ���y
- �˰� CEP ���ښ�·�尲�b

�‡�FESTO����y,�M(f��i)˹���O(sh��)Ӌ(j��)�D