�‡�FESTO�p���Ú�׼��g(sh��)����
���ڰ�ȫ���P(gu��n)�đ�(y��ng)�È��ϕr��Ҫ�����~���ʩ�����磬�ښW�ޣ��ͱ�����ؚW�˙Cеָ�����г��Ę�(bi��o)��(zh��n)��
����]���~���ʩ�����a(ch��n)Ʒ�Ͳ��m���ڿ���ϵ�y(t��ng)���c��ȫ���P(gu��n)�IJ��֡�

���w���O(sh��)���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w��(n��i)�O(sh��)�о��_�C��(g��u)��
�ͻ����ٶȕr���p��?q��)��F(xi��n)��Ħ���������ܷ��������׺��Π��܎�
�����F(xi��n)*���\�����ԣ��c���������o�P(gu��n)�����҆��Ӊ����͡�
���m���ڻ����U���ЙM��ؓ�d�đ�(y��ng)��
�U��(c��)���w���O(sh��)���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃�(n��i)��
• �Ɍ������U���ֻ�A��������λ��
• ��ʹ�ڽ���ؓ�d�������������ӻ�ϵ�y(t��ng)���F(xi��n)й©����r�£������UҲ���L�r�g�A����λ����
�U��(c��)���w���O(sh��)�Ќ�(d��o)���ף�����ߚ�׵Č�(d��o)�򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����

�‡�FESTO�p���Ú�׼��g(sh��)����
��(d��o)����ͨ��ʹ�ß��Y(ji��)���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F����p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�
��Ͳ�ă�(n��i)����С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ��(n��i)��ƽ��(w��n)������(f��)���ӣ���Ͳ��(n��i)����ı���ֲڶȑ�(y��ng)�_��Ra0.8μm��
SMC�� CM2��׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F(xi��n)�p���ܷ⣬�����c�����U�É��T朽ӣ�������ĸ��
�x������ P2�����y�ܽM����؛�r�Ѱ��b���S���w�ϡ���������U���L���Ԅӿ��]�ڃ�(n��i)���͟o��o���� …E �o��һ��ֵ��