*NACHI���������y,����Խ���������yԔ����B
����±5%�ԃ���zui������������r�£�Ոע����
����±5%�ԃȡ�����zui�������^���У�����
����0.2r/min���������r����10μm���µ��ھ��^�V����
4r/min���•r����ںͳ��ډ��O����0.6MPa ��
��������1.0?21MPa �У�����׃�Ӟ��O����
����±5%�ԃ������ƕr����ںͳ��ډ������0MPa ���ϡ�
�������ֱ������D�ӣ���������������Ո����ںͳ��ڵĉ����
 

*NACHI���������y,����Խ���������yԔ����B
�ڿ���0.2r/min���������r��Ո�rʹ��10μm���µ��ھ��^�V��
Control 0.2r / min or less when traffic with 10μm or
��1.0MPa ���ό������ֱ������D��������������
��ʹ�É�����Һ���͵�ճ��׃������׃����Ҏ��׃�����������ɡ�
�ضȷ���20°C?60°C�У���40�r��������˜ʣ�����׃����±
�ԃȉ�������1.0?10.5MPa �У�����׃�����O
less in-line filter. set at 0.6MPa {6.1kgf / cm2} In
When 4r / min or less, and the inlet and outlet pressure