����������CHELIC��׵�������Q

����1��������CHELIC��׵�һ���P�I�������ǃȏ���С��Ͳ���Ĵ�С�Q�������ݔ�����Ĵ�С����Ͳ�ȱڱ���ֲڶ�����Ҫ�_��Ra0.8um,�@�Ӳ��ܱ��C�����ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ�������Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹�����߀��ʹ���øߏ����X�Ͻ���S�~��

����2��������CHELIC��׸�Ͳ�ɶ��b�ж��w���ڶ��w���O���M�Ś�����е�߀�O�о��_�C�������˷�ֹ�����U����©������ⲿ�҉m�M����w�ȣ����ڶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ��������ߚ�׵Č��򾫶���߀���ڗU�ȶ��w�� �O�Ќ����� ��

����3��������CHELIC�������ֱ���\��Ԫ�����������o�Ɇ����܉�������������˷�ֹ����������ͨ�����b�ϻ����ܷ�Ȧ�����ڻ������b����ĥ�h��������ߚ�׵Č�������

����4�� ������CHELIC��׻����U��ֱ�ӵĈ���Ԫ����Ҳ������Ҫ������Ԫ����������IJ���Ҫ��Ҳ���^����ͨ����ʹ�ý��^�Ӳ��̎���ĸ�̼䓻��߲��P���������͸��g�Բ�����ܷ�Ȧ��ĥ�ԡ�

����5�� ������CHELIC��׾��_���������_�����y

�������_�b���DZ��C��׉�������Ҫ��������w�����҂��������v��

����������CHELIC��׵ķ��

����������CHELIC����І����Ú�׺��p���Ú��֮�֡�

���������Ú�����CHELIC������˼�x�������Ú�׾��ǃH��һ�ȹ��⣬�≺�Ƅӻ�����ʹ�����U����������ɻ������؏�λ��

������һ�������dz������@�ͺñ�����һ����������������Ҳ�����ڱ����^��ʹ�죬�Ԟ�����ͨ�^���ڷ��������@����

�����p���Ú�����CHELIC����p���Ú�׾����ڻ����ɂȹ������ɂȶ���ͨ�^�≺���Fǰ�M�ͺ�����

�������@���҂��ı�����Ҫ�Qһ�Q����������������һ��Ů���ѣ��K�����˿��Ժ���һ�����ë������

����������CHELIC��׵ľ��_

����ǰ���҂�Ҳ�ᵽ�˚�׵ľ��_���}������]�о��_�b���������\�ӵ��K�˕r�͕��Ժܴ�Ą���ײ�����w���ò��˶������͕��p�ģ����s���˚�׵ĉ�����

��������֮��������ײ������ɵ�����Ҳ�Ƿdz���ġ�һ����׵��������S���󣬵�һ�����S�Ě���������������_����o�����ܵij̶ȣ�����̎�����ڰl�ӵć���ʽ�w�C����߅��

���������”�����OӋ���͞������˾��_�b�á� 1��Һ�����_Һ�����_�ǵľ��_������Һ�����_�����b�ښ�׵�ǰ�ˡ�

����Һ�����_�b�����õV����������|��ͨ�^�����OӋ�����Ԍ��F�����p�d���������d��ƽ���D׃��

����2�����z���_���z���_���b���Ӿo�����������ľ��_�����̶���׃�����_�������^С����˶�����С�͚����

����������CHELIC��׵���Ҫ�����������w�����T�������������h���B�U�ȡ�

����һ������w

����������CHELIC����w�ǚ�׵����w�Y����ͨ�����T�F���T䓲����Ƴɡ�ֱ���ĸיC�Ě���w��һ���T�����Ă���׏ă������������������҃ɶ˸�����ˮ��������w�ăȱ��潛�^���ӹ������γɻ����c���֮�g���]���⾉�����Ҿ���һ���ı���❍�Ⱥ��Hˮ�ԡ�

�����������T

�������T�ǿ����M����׵Ě��w���ӵ������ͨ������F�����Ƴɡ�һ����������Ѓɂ�

������������

���������ǚ�׃����P�I��������������������\��ֱ���ƄӰl�әC���D�����������Π�ͨ���ǽ����ڈA���w��б���������ڻ���ֱ���cȼ��������|������ͨ��ʹ���T�F���X�Ͻ���p�|�����Ƴ����Ա��C��ɫ�ď��Ⱥ���ĥ����

�����ġ������h

���������h�ǹ̶��ڻ����ϵĽ��٭h������������h����Ҫ�����DZ��C�����ښ�׃ȵ����]�Ժ͝����͵Ŀ��ơ��Ҋ�Ļ����h���ͭh�ͳЉ��h��ͨ������F���t�T�F�Ȳ����Ƴ���

�����塢�B�U

�����B�U�ǻ����c���S���l�әC����һ����Ҫ������֮�g��ͨ�������ڌ������ľ����\���D�������S�����D�\�����B�U�ĽY����ʽ������ͨ������F�����Ƴ����ڰl�әC����ֱ���ĸיC���B�U�����ĸ���V�����יC���B�U����������

������֮������ǃ�ȼ�l�әC�е�һ�����IJ��������S���㲿���M������������Ҫ�������������w�����T�������������h���B�U�ȡ����ڃ�ȼ�l�әC�Ę���͹���ԭ���������˽��׼�������ǵ���

�����Ԛ��ϵ�y���ʹ�õĆλ����U�p���Ú�מ������f������׵��ͽY�����ɸ�Ͳ�������������U��ǰ���w������w���ܷ���ȽM�����p���Ú�׃Ȳ��������ֳɃɂ�ǻ���л����Uǻ�Q���ЗUǻ���o�����Uǻ�Q��o�Uǻ��

�������ğo�Uǻݔ�뉺�s�՚�r���ЗUǻ�Ś�����׃�ǻ�ĉ����������ڻ��������γɵ����˷�����ؓ�d�Ƅӻ����\�ӣ�ʹ�����U��������ЗUǻ�M�����o�Uǻ�Ś�r��ʹ�����U�s�ء����ЗUǻ�͟o�Uǻ�����M����Ś⣬�������F����ֱ���\����

����2.��׵ķ��

����������CHELIC��׵ķNܶ࣬һ�㰴��׵ĽY���������������ӷ�ʽ���b�������M�з����ķ���Ҳ��ͬ�����Y�������������Ҫ�֞����ʽ��׺�ĤƬʽ��׃ɷN�����\����ʽ�֞�ֱ���\�Ӛ�׺͔[�Ӛ�׃����

����3.��׵İ��b��ʽ

����������CHELIC��׵İ��b��ʽ�ɷ֞�

����1���̶�ʽ��� ��װ��b�ڙC�w�Ϲ̶����������_��ʽ�ͷ��mʽ��

����2���S�Nʽ��� ���w���@�̶��S����һ���ǶȵĔ[������U���^ʽ�Ͷ��Sʽ��

����3�����Dʽ��� ���w�̶��ڙC�����S�������S�C�����S���������D�\�����@�N��׳����ڙC���Ϛ�ӿ��P�����Ԍ��F�������Ԅ��b����

����4��Ƕ��ʽ��� ��׸�Ͳֱ�������ڊA���w�ȡ�