������η�ֹ����ʽSMC늴��y����
����SMC늴��y����ܵ����Ю���s�|�����п��܌�������ʽ�����{���y���F��������r�������F�@��}���҂���ԓ��ô�k��?�����҂�ՄՄ���N���Խ�Q���k����
����1���坍�������ܵ��еĺ������F�P���t���ȿ��ܕ�������������y�w�����ֺ�ƽ��Ŀڣ��Ķ��������Ϯa����׃�����β�о�Ӻ͌������y�����@�N��r�£���회���������M���坍������������ܷ���p�ģ��t���M����ĥ;ͬ�r�����_�ײ����ӣ��_ϴ���ƽ����������y�w�Ġt�����_ϴ�ܵ����{ԇǰ��Ո*���_����ʽ�����{���y��һ�Εr�g���|���M�������\�Р�B��
����2�����|�_ϴ�������ý��|�����ě_ϴ�������_ϴ���������׳������������Ė|�����Ķ�������y�T�Ŀ��������ܡ���Ҋ�ķ����У�
����a.SMC늴��y�Ğ������P�]���;
����b.���������y�w;
����c.�������T�����ڲ�ϴ�����ĵط���ʹ���@�N�����r��Ҫע����߹����T�����g�ԡ�
����3��ֱͨ�Ƿ���ֱͨS������·���s������ǻ�Ҹ������^�����еȳ����ṩ�ˈ����������B�ӣ����|���ⲿ����90°C���_ϴ���ܺã����^С�������OӋ�������͡�
����4�����ӹ����g϶�ķ��������ڹ����y�����ã����|�еĹ��w�w����t�����F�P�Ȳ������������������������ʹ�ù����g϶��IJ��֡�����Ԫ��-�����T�^����һ�����ڣ�һ�����_���yо��һ���r�ס����ڹ����^���ж������������Ϸֲ�����������������ϡ����چ������p���y�����Ԍ��������y���Ğ�“V”���y��Ҳ���Ԍ�����Ğ���Ͳ�y��
����5���ⲿ��ϴ��������ijЩ���ڳ����Һ��й��w�w���Ľ��|ͨ�^����ʽ�����{���y�{���r��ͨ�����ڹ����T�͌����b��̎�����������ҿ������²��ĵײ��_ϴ���w�����������w�����{���y�������������r�����Դ��_�ⲿ���w�������y����ɛ_ϴ���������o���Ƅ��{���y��ʹ�y����������
����6���ܵ��^�V���İ��b����������С�ڏ�����ʽ�����{���y���e�dz�С�����{���y�������y���g϶��С����ʹ���|�ЊA���٣�Ҳ�����������^�V�����b���y�T֮ǰ�Ĺܵ��С��_�����|���ͨ�^����ʹ�ö�λ��ʹ�õ��{�����r����λ���o���������������ӹ����Tͨ�����J���ǹ��ϡ�
�������O���������������£��y�Tй©���H����ɽ��|�pʧ��߀������������Ӱ��������a��һ������y�T�ܷ���й©��ԭ�������N��r��
����һ���ܷ������K�ʹ���ܷ��汻�|ס������y���c�y���g�����g϶���Ķ�����y�Tй©���ų��@�N���ϵķ�����������ܷ����K���ʹ�����������y�T���]�״Ρ����ڹ������|��ˮ���O�䣬Ҫע���O��Ȳ����P�g���o�����������ֱ��İ�ȫ�y���ڲ�Ӱ��������a����r�£��ɶ����ք��ŷŽ��|���ԛ_ˢ�ܷ�����K�
���������ܷ���p���������ܷ���IJ��|�^ܛ�����ܷ��汻�^Ӳ���s�|�|ס�������������L�������£��͕�����ܷ���ēp�����ų��@�N���ϵķ������Ǹ����p���̶Ȳ�����ĥ��܇����ĥ�Y�ϵķ����ޏ��ܷ��棬��ֲڶȑ�������Ra=0.2μm������Ҫ���C���|�ĸɃ���
���������b�䲻��������ߴ粻���m���b�䲻������������ͬ�Ķ��ܵ��Ɖģ���ˌ����@��ϑ���ȡ�����b�����Q���m����ķ�����Q��
���������y�T�_�������c�����������^�ӽ��������ܷ���ȉ����^�͡����y�T�ܵ����ӻ������|�IJ��ӕr�������p������y�T��й©��������ڱ��C�O�䰲ȫ��ǰ���£��m���{���y�T���_��������
�������Ǐ���ʧЧ��ʹ�y�T�_�������l��׃��������@�N���ϵ�ԭ��ܿ��������ڸߜػ��g��ԭ����ɵġ������@�N����ֻ�ܲ�ȡ���Q���������{�Q�y�T�ķ�����Q��
����SMC늴��y偠t�����������������ܵ��������܉��O������Ҫ�İ�ȫ�������������z�飬ʹ֮��ȫ�ɿ���������Ŀɿ��Ժ����ܵĺÉ�ֱ���Pϵ���������O��İ�ȫ��Ҳ�c���ܺͭh�����o�o�����P�������Ҫ���x�͡����b���{ԇ���\�Йz���S���^�̇�����P���J����И˜ʡ�Ҏ�̵�Ҫ������偠t��������������B�r���䰲ȫ�yһ���܉�����й�������o���O��İ�ȫ���Ķ��_��偠t����������ȫ�����\�С�
����SMC늴��yϵ�����^��V�����õĮaƷ֮һ���䑪�íh���ͽ��|��������������늴��y�ЃɷN��һ�N��偠t����늴��y����һ�N�ǻ�늏S������늴��y������늴��y���ɷN����늴��y�aƷ�m����ͬ���|���Ñ����x�͕r���������H�����h��Ҫ�������늴��y����̖�����M���x��������늴��y�aƷ�Č��Hʹ���^���У���������һЩ�o�����φ��}��������늴��y������������������늴��y���ܴ��_�ȣ����Ŀ��Y�������y�T�ИI��Ҋ�ĎN��������늴��y���ϵij�Ҋԭ��o�����_���Լ������Ĺ��Ͻ�Q���������w���£�
����1�����șz�龀Ȧ�Ƿ���ġ�����У���횲�ж����늴��y�M�Йz�顣������Ȧ�ēp�ij̶ȣ��Q����������Q�µ�����늴��y��Ȧ��
����2���z��SMC늴��y�����Ƿ���ѣ�ҕ��r���Q��������
����3�����SMC늴��y�����w���s�|������K����늴��y�ăȲ�������Ӱ��y�T���\�С�����늴��y�ɲ�ж��ϴ��
����4��������щ����^���^�ͣ�����늴��y���ܹ������ɸ�����r�M���������Q��
����5��SMC늴��y�ܷⲻ��Ҳ������늴��y���������˕r��Ҫ���Ƿ���й©��
����6��SMC늴��y���yо�ϵď��ɿ�ס�ˆ������ܿ�ס��늴��y���o��������