�����‡�(gu��)SICK��늂��������A(ch��)֪�R(sh��)������
    �‡�(gu��)SICK��늂�����������(y��ng)ԓ��(du��)���y(c��)�����У����Ҿ��а�����(du��)���y(c��)����푑�(y��ng)���ͳ�ȥ�Ĺ��ܡ�Ҳ�����f���‡�(gu��)SICK��늂�������ֻ��һ�������Ԫ��������ݔ��푑�(y��ng)߀��������ڂ��͵������������磺���V�ď���Ĥ�е�ݔ��푑�(y��ng)����׃����΢С�Ď׺��������������h(yu��n)�����͡������Ĥ�����ĵ�λ���D(zhu��n)׃?y��u)���ݘO����g϶׃�����ͳɞ�ݔ��푑�(y��ng)��������ĉ�����������
    �������̖(h��o)zui���ڂ��ͣ����Խ^�����(sh��)�‡�(gu��)SICK��늂�������ݔ�����������ʽ����늉����������衢늸С���ݡ��l�ʵȡ�
    ׃�����ǏĂ������l(f��)չ�����ģ�����ݔ����(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)�ĵ‡�(gu��)SICK��늂������ͷQ��׃������(��(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)������������ʽ�͔�(sh��)ֵ���������Ϙ�(bi��o)��(zh��n)����̖(h��o)������ֱ��4��20mA)���˽y(t��ng)һ����̖(h��o)��ʽ�͔�(sh��)ֵ�������ͱ��ڰѸ��N׃�����������x���M�əz�y(c��)ϵ�y(t��ng)���{(di��o)��(ji��)ϵ�y(t��ng)��
    ݔ����ǘ�(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)�ĵ‡�(gu��)SICK��늂���������횺��ض��ăx�����b�����ף����܌�(sh��)�F(xi��n)�z�y(c��)���{(di��o)��(ji��)���ܡ����˼ӏ�(qi��ng)ͨ���Ժ��`���ԣ�ijЩ��������ݔ�����Կ��D(zhu��n)�Q���ѷǘ�(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)�D(zhu��n)�Q�ɘ�(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)��ʹ֮�c���И�(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)��ݔ���·��ӿڵăx�����ס���ͬ�Ę�(bi��o)��(zh��n)��̖(h��o)Ҳ�ɽ������D(zhu��n)�Q�������D(zhu��n)�Q���������Ú�/��D(zhu��n)�Q�����ܰ�20��100kPa�Ŀ՚≺���D(zhu��n)�Q��0��10mA��ֱ�������
    λʽ���ú��B�m(x��)���ã�
    λʽ���ã�Ҳ�Q���_�P(gu��n)���ã�����������ݔ��׃������(g��)׃��������(n��i)��ݔ������(y��ng)ֻ�ЃɷN��B(t��i)������՚��B(t��i)��“��”��“��”��
    λʽ���õĵ‡�(gu��)SICK��늂����������ڱ��y(c��)׃�����ވ�(b��o)�����B�i���o(h��)�������ơ������҂��ĉ����_�P(gu��n)��
    ��Ҫ�B�m(x��)�z�y(c��)���{(di��o)��(ji��)ijЩ׃���r(sh��)���ͱ�����B�m(x��)���õĵ‡�(gu��)SICK��늂�����
    �L(zh��ng)Ұ��׃��������ʹ�õĂ�����SS—���l(f��)�Ͱ댧(d��o)�w��(y��ng)׃Ƭ�����c(di��n)��
    (1)����(du��)��ճ�Nʽ�͔U(ku��)ɢʽ�����l(f��)ʽ���¼��g(sh��)��
    (2)��ɜy(c��)�������� -0.1��0.3MPa;0��200MPa ��
    (3)���кܺ������Ժͷ�(w��n)���ԡ�
    �댧(d��o)�w��(y��ng)׃Ƭ������������ճ�N��ʽ�����l(f��)��ʽ���U(ku��)ɢ��ʽ��
    �L(zh��ng)Ұ�ĵ‡�(gu��)SICK��늂�������댧(d��o)�w��(y��ng)׃Ƭ���֡��Б�(y��ng)Ԫ��(���P䓸�Ĥ)�Լ������ӿڲ���ͨ�^�����B�ӳ�һ�w�����кܸߵķ�(w��n)���ԺͿɿ��ԣ������ԺͿ��_�������á�
    ���l(f��)ʽ�댧(d��o)�w��(y��ng)׃Ƭ�ľ��w������ʽ���£�
    (1)�ڲ��P䓸�Ĥ��ʹ��CVD���x�ӳ���һ��SiO2�^��Ĥ
    (2)��SiO2�^��Ĥ���ٳ���һ�Ӷྦྷ�衣
    (3)�ڶྦྷ����ʹ�ü����g�̣���(y��ng)׃Ƭ���� ��
    (4)�������������僣����Ͻ���늘O��
    (5)��ʹ��CVD���x�ӳ���һ��SiNx���o(h��)Ĥ��
    ����(j��)�‡�(gu��)SICK��늂�������׃�����İ��b��(ch��ng)���Пo��ȼ�ױ����w��Σ�U(xi��n)�̶ȣ��x������ͼ������͡�
    (1)�‡�(gu��)SICK��늂������ڃ�(n��i)���·���܇�֮�g��ȡ�˸��x��ʩ�����Sʹ������һ��Σ�U(xi��n)�Եĭh(hu��n)���� ��